-
Rhannau Sbâr Ceramig ar gyfer Offer Prob Lled-ddargludyddion
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Cludwr Offer Lled-ddargludyddion Plât Ceramig
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Rhannau Sbâr Cerameg Offer Lled-ddargludyddion
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Cylch Selio Ceramig Alwmina Purdeb Uchel ar gyfer Selio Siambr Tymheredd Uchel
Mae cylch selio ceramig St.Cera wedi'i gynllunio fel dewis arall yn lle cylchoedd-O polymer mewn amgylcheddau eithafol lle mae elastomerau'n diraddio. Wedi'i gynhyrchu o 99.8% o alwmina purdeb uchel (Al₂O₃), defnyddir y cylch selio anhyblyg hwn mewn cymwysiadau selio statig - fel arfer wedi'i baru â gasged metel meddal neu graffit - i ddarparu gwactod neu nwy dibynadwy ar dymheredd hyd at 800°C ac mewn amgylcheddau plasma neu gemegol ymosodol. Mae'r deunydd yn cynnig dim all-nwyo, cryfder cywasgol uchel (cryfder plygu sylfaenol 361 MPa), ac anadweithioldeb cemegol (sy'n gwrthsefyll halogenau, asidau ac alcalïau ac eithrio HF). Mae arwynebau selio wedi'u lapio'n fanwl gywir (gwastadrwydd ≤5 μm, garwedd arwyneb Ra ≤0.2 μm) yn sicrhau cyswllt sy'n dal gollyngiadau â chydrannau metel neu seramig sy'n paru.
-
Cylch Ffocws Siambr Alwmina Purdeb Uchel ar gyfer Systemau Ysgythru Plasma a CVD
Mae cylch ffocws siambr St.Cera yn gydran pecyn proses hanfodol a ddefnyddir mewn offer lled-ddargludyddion plasma, CVD, a PVD. Wedi'i gynhyrchu o 99.8% alwmina purdeb uchel (Al₂O₃), mae'r cylch yn amgylchynu ymyl y wafer i gyfyngu plasma ac optimeiddio dosbarthiad onglog ïon, a thrwy hynny wella unffurfiaeth yr ysgythriad ar draws wyneb y wafer. Mae'r deunydd yn cynnig ymwrthedd plasma eithriadol, cryfder dielectrig uchel (15 × 10⁶ V/m), a sefydlogrwydd thermol hyd at 1600°C, gan sicrhau dibynadwyedd hirdymor mewn amgylcheddau plasma ymosodol sy'n seiliedig ar fflworin neu glorin. Mae ID/OD wedi'i falu'n fanwl gywir a gwastadrwydd (≤10 μm) yn galluogi lleoli ymyl y wafer yn gywir, gan leihau diffygion ymyl a chynhyrchu gronynnau.
-
Cylch Ceramig Alwmina Purdeb Uchel ar gyfer Siambr Prosesu CVD / PVD
Mae modrwy serameg St.Cera wedi'i chynllunio'n benodol i'w defnyddio mewn siambrau prosesu CVD (Dyddodiad Anwedd Cemegol) a PVD (Dyddodiad Anwedd Ffisegol). Wedi'i gynhyrchu o 99.8% o alwmina purdeb uchel (Al₂O₃), mae'r fodrwy hon yn gwasanaethu fel leinin siambr, modrwy ffocws, neu gydran pecyn prosesu i gyfyngu plasma ac amddiffyn waliau'r siambr rhag erydiad. Mae'r deunydd yn cynnig ymwrthedd plasma rhagorol, cryfder dielectrig uchel (15×10⁶ V/m), a sefydlogrwydd thermol hyd at 1600°C, gan sicrhau oes gwasanaeth hir mewn amgylcheddau plasma ymosodol sy'n seiliedig ar fflworin. Mae goddefiannau dimensiynol manwl gywir (±0.05 mm ar ID/OD) a gwastadrwydd (≤10 μm) yn galluogi lleoli ymyl wafer yn gyson, gan wella unffurfiaeth dyddodiad a lleihau cynhyrchu gronynnau.
-
Effeithydd Pen Ceramig Bernoulli — Trin Wafers Di-gyswllt ar gyfer Wafers Tenau a Bregus
Mae effeithydd pen ceramig Bernoulli St.Cera yn defnyddio lifft aerodynamig i drin wafferi heb gyswllt corfforol. Wedi'i gynhyrchu o alwmina 99.8% purdeb uchel (Al₂O₃) neu silicon carbid (SiC), mae'n cynnwys ffroenellau wedi'u peiriannu'n fanwl gywir sy'n alldaflu nwy dan bwysau i greu ffilm aer denau rhwng yr effeithydd pen a'r waffer. Mae'r egwyddor ddi-gyswllt hon yn dileu halogiad cefn, naddu ymylon, a difrod i'r wyneb, gan ei wneud yn ddelfrydol ar gyfer wafferi tenau (≤100 μm), bregus, neu ystumiedig. Mae'r swbstrad ceramig yn darparu cryfder plygu uchel (361 MPa ar gyfer Al₂O₃; hyd at 550–600 MPa ar gyfer SiC), màs isel, a sefydlogrwydd dimensiwn rhagorol, gan sicrhau lleoli ailadroddadwy mewn robotiaid trosglwyddo wafferi cyflym.
-
Rhannau Ceramig Alwmina Purdeb Uchel ar gyfer Cymwysiadau Lled-ddargludyddion a Diwydiannol
Mae St.Cera yn cynhyrchu rhannau ceramig alwmina (Al₂O₃) wedi'u peiriannu'n fanwl gywir yn ôl manylebau cwsmeriaid. Gan ddefnyddio 99.8% o alwmina purdeb uchel, mae'r cydrannau hyn yn darparu cryfder plygu rhagorol (361 MPa), caledwch uchel (16 GPa), a chryfder dielectrig rhagorol (15×10⁶ V/m). Wedi'i gynllunio ar gyfer offer lled-ddargludyddion, cynulliadau sy'n gwrthsefyll traul, inswleiddwyr trydanol, a gosodiadau tymheredd uchel, mae'r deunydd yn cynnig amsugno dŵr bron yn sero (0%) a chyfernod ehangu thermol o 7.2×10⁻⁶/℃, gan sicrhau sefydlogrwydd dimensiynol o dan amodau eithafol.
-
Chuck Gwactod Ceramig Mandwllog ar gyfer Trin Wafferi Ystumiedig
Mae ciwc ceramig mandyllog St.Cera wedi'i beiriannu o alwmina purdeb uchel gyda mandylledd agored unffurf o 30–45% a meintiau mandyllau yn amrywio o 10 i 100 μm. Yn wahanol i giwciau rhigol confensiynol, mae'r wyneb mandyllog yn darparu gwactod dosbarthedig ar draws cefn cyfan y wafer, gan ddal waferi ystumiedig, tenau, neu sengl yn effeithiol heb i'r ymyl godi i ffwrdd na thorri. Mae'r gwactod ysgafn (addasadwy trwy gyfyngwr) hefyd yn atal marcio ar y cefn.
-
Chuck Gwactod Ceramig Mandyllog wedi'i Seilio ar Alwmina ar gyfer Trin Wafferi Tenau
Mae ciwc mandyllog wedi'i seilio ar alwmina St.Cera wedi'i gynhyrchu o 99.6% o Al₂O₃ purdeb uchel gyda mandylledd agored rheoledig o 30–45% a maint mandwll unffurf yn amrywio o 10 i 50 μm. Yn wahanol i giwciau rhigol, mae'r wyneb mandyllog yn darparu gwactod dosbarthedig ar draws cefn cyfan y wafer, gan ddileu marcio ymyl a galluogi daliad ysgafn o waferi ultra-denau (≤100 μm) neu ystumiedig. Mae'r deunydd yn cynnig cryfder plygu ≥250 MPa a sefydlogrwydd thermol hyd at 400°C mewn aer.
-
Plât Dosbarthu Nwy Alwmina ar gyfer Pen Cawod CVD/PVD
Mae plât dosbarthu nwy (pen cawod) St.Cera wedi'i beiriannu'n fanwl gywir o serameg alwmina 99.8% purdeb uchel. Mae'n cynnwys amrywiaeth o ficro-dyllau (diamedrau 0.3–1.5 mm) sy'n sicrhau llif nwy unffurf ar draws wyneb y wafer yn ystod prosesau CVD, PVD, neu ALD. Mae cryfder dielectrig uchel y plât (>15 × 10⁶ V/m) a'i wrthwynebiad plasma yn ei gwneud yn hanfodol ar gyfer dyddodiad ffilm denau lled-ddargludyddion.
-
Pin Cefnogaeth Ceramig ar gyfer Gosodiadau Proses Lled-ddargludyddion
Defnyddir pinnau cynnal ceramig St.Cera (a elwir hefyd yn binnau codi neu binnau cynnal) mewn siambrau prosesu lled-ddargludyddion i godi wafferi neu swbstradau wrth eu trin, eu gwresogi neu eu hoeri. Wedi'u cynhyrchu o 99.8% alwmina neu silicon nitrid, mae'r pinnau hyn yn cynnig cryfder cywasgol uchel, sefydlogrwydd thermol a gwrthiant cemegol. Mae'r dyluniad blaen hemisfferig neu fflat yn atal crafu wafferi.
