Pin Cefnogaeth Ceramig ar gyfer Gosodiadau Proses Lled-ddargludyddion
Defnyddir pinnau cynnal ceramig St.Cera (a elwir hefyd yn binnau codi neu binnau cynnal) mewn siambrau prosesu lled-ddargludyddion i godi wafferi neu swbstradau wrth eu trin, eu gwresogi neu eu hoeri. Wedi'u cynhyrchu o 99.8% alwmina neu silicon nitrid, mae'r pinnau hyn yn cynnig cryfder cywasgol uchel, sefydlogrwydd thermol a gwrthiant cemegol. Mae'r dyluniad blaen hemisfferig neu fflat yn atal crafu wafferi.
Manylebau(Alwmina 99.8%):
| Eiddo | Gwerth |
| Deunydd | 99.8% Al₂O₃ neu Si₃N₄ |
| Hyd | 10 – 100 mm |
| Diamedr | 1 – 10 mm |
| Siâp y Blaen | Gwastad, hemisfferig, pigfain |
| Cryfder Cywasgol (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Tymheredd Gweithredu Uchaf (Al₂O₃) | 1600°C |
| Gorffeniad Arwyneb | Wedi'i lapio (Ra ≤0.4 μm) |
| Goddefgarwch ar Ddiamedr | ±0.01 mm |
Ceisiadau:
Pinnau codi mewn siambrau CVD/PVD
Pinnau cymorth ar gyfer pobi ar blatiau poeth
Strwythurau cefnogi cardiau chwiliedydd
Cefnogaeth cwch ffwrnais cwarts
Gweithgynhyrchu:
Malu manwl gywirdeb di-ganol OD → malu diemwnt proffil y domen → glanhau uwchsonig → archwiliad dimensiwn 100%.
Rheoli Ansawdd:
CMM ar gyfer hyd/diamedr, cymharydd optegol ar gyfer radiws y domen, profi llwyth i wirio cryfder cywasgol (sampl ar hap fesul swp). Dim halogiad fferomagnetig (wedi'i wirio â magnet).
Manteision dros binnau metel neu gwarts:
Oes 5 gwaith yn hirach na dur di-staen
Dim halogiad metel yn y siambr brosesu
Gallu tymheredd uwch na chwarts (1600°C vs 1100°C)
Arwyneb nad yw'n glynu (llai o adlyniad gronynnau)
Addasu:
Proffiliau blaen lluosog, sylfaen edau, neu siafft taprog.
Rydym hefyd yn cyflenwi pinnau SiC ar gyfer amgylcheddau plasma eithafol.
