Chuck Gwactod Ceramig Mandyllog wedi'i Seilio ar Alwmina ar gyfer Trin Wafferi Tenau
Mae ciwc mandyllog wedi'i seilio ar alwmina St.Cera wedi'i gynhyrchu o 99.6% o Al₂O₃ purdeb uchel gyda mandylledd agored rheoledig o 30–45% a maint mandwll unffurf yn amrywio o 10 i 50 μm. Yn wahanol i giwciau rhigol, mae'r wyneb mandyllog yn darparu gwactod dosbarthedig ar draws cefn cyfan y wafer, gan ddileu marcio ymyl a galluogi daliad ysgafn o waferi ultra-denau (≤100 μm) neu ystumiedig. Mae'r deunydd yn cynnig cryfder plygu ≥250 MPa a sefydlogrwydd thermol hyd at 400°C mewn aer.
Manylebau(yn seiliedig ar 99.6% Al₂O₃):
| Eiddo | Gwerth |
| Deunydd | 99.6% Alwmina (Gwyn) |
| Mandylledd | 30–45% (addasadwy) |
| Maint Mandwll Cymedrig | 10–50 μm |
| Cryfder Plygu | ≥250 MPa |
| Dwysedd | 3.88 g/cm³ |
| Gwastadrwydd (dros 200mm) | ≤5 μm |
| Tymheredd Gweithredu Uchaf | 400°C (aer) |
| Gorffeniad Arwyneb | Wedi'i lapio (Ra ≤0.8 μm) |
Ceisiadau:
- · Malu cefn wafer tenau (≤50 μm)
- · Mowntio wafer ystumiedig ar gyfer disio
- · Codi marw unigol
- · Trin swbstrad gwydr
Gweithgynhyrchu:
Powdr wedi'i gymysgu â ffurfwyr mandyllau → gwasgu isostatig → sinteru ar 1600°C → lapio i'r trwch terfynol. Caiff pob ciwc ei brofi llif am unffurfiaeth gwactod (gwyriad pwysau <5%) a'i archwilio am ddosbarthiad maint mandyllau (SEM).
Manteision dros giwciau confensiynol:
- · Dim marcio cefn wafer na symudiad marw
- · Yn dal wafferi gyda bwa hyd at 500 μm
- · Arwyneb hunan-lanhau (mae mandyllau'n gwrthsefyll tagfeydd)
- · Mae cefnogaeth unffurf yn dileu straen lleol
Caddasu:
Siapiau crwn neu sgwâr, diamedr 100–450 mm. Mae cylch selio ymyl ar gael ar gyfer rheoli gwactod parthau.
Gofynnwch am sampl ar gyfer eich maint wafer penodol.
