Effeithydd Terfynol Ceramig wedi'i Gorchuddio â Theflon – Arwyneb Di-lynu ar gyfer Trin Waferau Sensitif
Mae effeithydd terfyn ceramig wedi'i orchuddio â Teflon (PTFE) St.Cera yn cyfuno swbstrad alwmina cryfder uchel â gorchudd PTFE unffurf, ffrithiant isel (trwch 15–30 μm). Mae'r gorchudd yn darparu cyfernod ffrithiant hynod o isel (≤0.1), ymwrthedd cemegol rhagorol, a phriodweddau nad ydynt yn glynu, gan atal adlyniad wafferi a dileu halogiad ochr gefn. Mae'r swbstrad ceramig sylfaenol (99.8% Al₂O₃) yn cynnig cryfder plygu uchel (361–1000 MPa), ymwrthedd i wisgo, a sefydlogrwydd thermol hyd at 260°C (terfyn cotio). Mae'r effeithydd terfyn hwn yn ddelfrydol ar gyfer trin wafferi cain, tenau, neu ludiog (e.e., ar ôl cotio ffotoresist neu brosesau cemegol).
Manylebau (yn seiliedig ar swbstrad Al₂O₃ 99.8% gyda gorchudd PTFE):
| Eiddo | Gwerth |
| Deunydd Swbstrad | 99.8% Alwmina (Ifori) |
| Deunydd Gorchudd | PTFE (Teflon) |
| Trwch Gorchudd | 15–30 μm |
| Cyfernod Ffrithiant (Wedi'i Gorchuddio) | ≤0.1 |
| Cryfder Plygu Swbstrad (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Caledwch y Swbstrad (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Dwysedd y Swbstrad | 3.93 g/cm³ |
| Tymheredd Gweithredu Uchaf (terfyn cotio) | 260°C |
| Garwedd Arwyneb (cyn cotio) | Ra ≤0.4 μm |
| Cryfder Dielectrig (swbstrad) | 15×10⁶ V/m |
Nodyn: Mae cotio PTFE yn cyfyngu'r tymheredd uchaf i 260°C; ar gyfer cymwysiadau tymheredd uwch, ystyriwch serameg heb ei orchuddio neu orchuddion eraill.
Ceisiadau:
- · Trin wafferi ar ôl cotio ffotoresist (arwynebau gludiog)
- · Trosglwyddo wafferi tenau neu fregus (yn atal glynu)
- · Offer archwilio lled-ddargludyddion a metroleg
- · Awtomeiddio ystafell lân lle mae'n rhaid lleihau halogiad gronynnau
Proses Gweithgynhyrchu:
Swbstrad ceramig wedi'i sinteru a'i falu'n fanwl gywir → garwhau'r wyneb (ysgythru plasma neu chwythu grit) → cotio chwistrellu PTFE → halltu gwres ar 380°C → archwiliad terfynol. Mae pob effeithydd pen yn cael ei wirio am drwch y cotio (cerrynt troellog), adlyniad (prawf trawsdoriad ASTM D3359), a chyfernod ffrithiant.
Rheoli Ansawdd:
Archwiliad gweledol 100% am dyllau pin neu swigod; unffurfiaeth trwch yr haen o fewn ±5 μm; dim dadlamineiddio ar ôl prawf plygu 90° ar y cwpon tyst. Gwiriad dimensiynol i oddefgarwch OEM (hyd ±0.05 mm, gwastadrwydd ≤0.1 mm).
Manteision dros Haenau Heb eu Gorchuddio neu Haenau Eraill:
- · Mae arwyneb nad yw'n glynu wrtho yn atal y wafer rhag glynu a thorri
- · Y cyfernod ffrithiant isaf ymhlith haenau ceramig
- · Gwrthiant cemegol rhagorol (asidau, basau, toddyddion)
- · Lleihau cynhyrchu gronynnau trwy atal trosglwyddo deunydd
Cyfyngiadau (sylwadau ar wyriad deunydd):
Nid yw'r haen PTFE yn deillio o'r tablau priodweddau deunydd a ddarperir (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Mae priodweddau'r swbstrad yn dilyn y daflen ddata a gyflenwir yn llym (99.8% Al₂O₃). Mae priodweddau'r haen yn seiliedig ar fanylebau PTFE safonol y diwydiant, gan na ddarparwyd unrhyw ddata haen. Ar gyfer cymwysiadau sy'n fwy na 260°C, argymhellir effeithydd terfyn ceramig heb ei haenu.*
Addasu:
Ar gael mewn hydoedd 150–1500 mm, siapiau blaen (gafael ymyl, Bernoulli, gwastad), patrymau fflans mowntio yn ôl llun yr OEM. Gorchudd rhannol (ardaloedd cyswllt yn unig) neu orchudd llawn yn ddewisol.
Gofynnwch am sampl ar gyfer profi adlyniad a ffrithiant.
