Chuck Gwactod Alwmina 12-Modfedd ar gyfer Prosesu Wafer 300mm
Mae ciwc gwactod 12 modfedd St.Cera wedi'i beiriannu'n fanwl gywir o alwmina purdeb uchel 99.8% (Al₂O₃) ar gyfer trin wafferi 300mm. Mae gan y ciwc arwyneb â rhigolau mân (lled y rhigol 0.5–1.0 mm, traw 2–3 mm) i sicrhau dosbarthiad gwactod unffurf ar draws y diamedr 300mm cyfan. Cynhelir gwastadrwydd o fewn 5 μm, gan alluogi gosod wafferi heb ystofio wrth ddisio, malu cefn ac archwilio. Mae cryfder plygu uchel y deunydd (361 MPa) a'i galedwch (16 GPa) yn gwarantu sefydlogrwydd dimensiynol hirdymor hyd yn oed o dan gylchoedd gwactod dro ar ôl tro.
Manylebau (yn seiliedig ar 99.8% Al₂O₃):
| Eiddo | Gwerth |
| Diamedr | 300 mm (12 modfedd) |
| Deunydd | 99.8% Alwmina (Ifori) |
| Dwysedd | 3.93 g/cm³ |
| Cryfder Plygu | 361 MPa |
| Caledwch Vickers | 16 GPa |
| Gwastadrwydd (dros 300mm) | ≤5 μm |
| Lled y Rhigol | 0.5–1.0 mm |
| Tymheredd Gweithredu Uchaf | 800°C |
| Cryfder Dielectrig | 15×10⁶ V/m |
Ceisiadau:
Disio a sgriwio wafer 300mm
Malu cefn wafer (cefnogaeth wafer tenau)
Archwiliad a phrofi optegol
Chucks bondio/dadbondio dros dro
Gweithgynhyrchu:
Wedi'i falu a'i lapio â CNC i'r gwastadrwydd terfynol, ei rhwygo ag olwynion diemwnt, ei lanhau'n uwchsonig, a'i becynnu mewn ystafell lân Dosbarth 100. Mae pob ciwc yn cael ei archwilio 100% am wastadrwydd (interferomedr laser) a dyfnder rhigol (proffilomedr).
Manteision:
Cynhyrchu gronynnau isel (≤0.05 gronyn/cm²)
Anadweithiol yn gemegol i doddyddion ac asidau
Arwyneb diogel rhag ESD (gwrthedd >10¹³ Ω·cm)
Patrymau tyllau gwactod personol a phorthladdoedd cefn ar gael.
