Chuck Gwactod Ceramig Mandwllog ar gyfer Trin Wafferi Ystumiedig
Mae ciwc ceramig mandyllog St.Cera wedi'i beiriannu o alwmina purdeb uchel gyda mandylledd agored unffurf o 30–45% a meintiau mandyllau yn amrywio o 10 i 100 μm. Yn wahanol i giwciau rhigol confensiynol, mae'r wyneb mandyllog yn darparu gwactod dosbarthedig ar draws cefn cyfan y wafer, gan ddal waferi ystumiedig, tenau, neu sengl yn effeithiol heb i'r ymyl godi i ffwrdd na thorri. Mae'r gwactod ysgafn (addasadwy trwy gyfyngwr) hefyd yn atal marcio ar y cefn.
Manylebau(yn seiliedig ar 99.6% Al₂O₃):
| Eiddo | Gwerth |
| Mandylledd | 30–45% |
| Maint Mandwll Cymedrig | 10–100 μm (dewisadwy) |
| Cryfder Plygu | ≥250 MPa |
| Gwastadrwydd (dros 300mm) | ≤5 μm |
| Gorffeniad Arwyneb | Lapio (Ra 0.8 μm) |
| Lefel Gwactod Uchaf | -80 kPa |
| Tymheredd Gweithredu | 400°C (aer), 600°C (anadweithiol) |
| Deunydd | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂, neu SiC |
Ceisiadau:
Malu cefn wafer tenau (≤50 μm)
Mowntio wafer ystumiedig ar gyfer disio
Codi marw sengl o dâp
Trin panel gwydr
Gweithgynhyrchu ac Ansawdd:
Powdr ceramig wedi'i gymysgu â ffurfwyr mandyllau organig → wedi'i wasgu → wedi'i sinteru → wedi'i lapio i'r trwch terfynol. Caiff pob ciwc ei brofi llif am unffurfiaeth gwactod (gwyriad ≤5%) a'i archwilio am ddosbarthiad maint mandyllau (SEM). Mesurir gwastadrwydd gydag interferomedr laser.
Manteision dros Chuckiau Rhigol:
Dim marcio ymyl wafer na symudiad marw
Yn dal wafferi ystumiedig (bwa hyd at 500 μm)
Yn dileu tagfeydd twll gwactod
Cefnogaeth hunan-lefelu ar gyfer swbstradau tenau
Addasu:
Siapiau crwn neu betryal, maint hyd at 600 mm. Gallwn gymhwyso modrwyau selio ymyl neu raniadau gwactod parth. Mae fersiynau â chefn metel ar gael ar gyfer gofynion anhyblygedd uchel.
Gofynnwch am sampl ar gyfer maint eich wafer a'ch prawf ystofio.
