-
Rhannau Ceramig Cylch Ceramig Manwl Uchel Alwmina
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Chucks Ceramig Offer Lled-ddargludyddion wedi'u Addasu ST.CERA
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Effeithydd Terfyn Ceramig Silicon Carbid (SiC) – Anystwythder Uchel ar gyfer Trin Wafer Tymheredd Uchel
Mae effeithydd terfyn ceramig SiC St.Cera wedi'i gynhyrchu o silicon carbid purdeb uchel (cynnwys SiC 99.72%, Si rhydd 0.05%) gan ddefnyddio'r deunydd swp S1111. Mae'n cynnig priodweddau mecanyddol eithriadol: cryfder plygu 449 MPa (wedi'i fesur), modwlws elastigedd 457 GPa (wedi'i fesur), a chaledwch Vickers 25–28 GPa (nodweddiadol). Mae'r dwysedd isel (3.10–3.15 g/cm³, nodweddiadol) yn darparu anystwythder penodol uchel, sy'n ddelfrydol ar gyfer robotiaid trosglwyddo waffer cyflym. Gyda dargludedd thermol o 120–150 W/m·K (nodweddiadol) a chyfernod ehangu thermol o 4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃ (nodweddiadol), mae'r effeithydd terfyn hwn yn gwasgaru gwres yn effeithiol ac yn cynnal sefydlogrwydd dimensiynol yn ystod trin tymheredd uchel (hyd at 1600–1700°C, dim llwyth). Mae'r lliw du/llwyd a'r amsugno dŵr sero yn sicrhau cydnawsedd ystafell lân.
-
Chuck Gwactod wedi'i Seilio ar Silicon Carbide (SiC) ar gyfer Amgylcheddau Tymheredd Uchel a Plasma
Mae ciwc ceramig St.Cera, sy'n seiliedig ar SiC, wedi'i weithgynhyrchu o silicon carbid purdeb uchel (swp S1111, SiC 99.72%, Si rhydd 0.05%). Mae'n darparu cryfder plygu mesuredig o 449 MPa, caledwch torri o 3.12 MPa·m¹/², a modwlws elastig o 457 GPa. Mae dargludedd thermol nodweddiadol y deunydd (120–150 W/m·K) ac ehangu thermol isel (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) yn galluogi rampio tymheredd cyflym a rhyfel waffer lleiaf posibl yn ystod cylchredeg thermol. Gellir ffurfweddu'r ciwc fel ciwc gwactod mandyllog (llif nwy unffurf) neu ciwc safonol rhigol. Gyda thymheredd defnyddio uchaf o 1600–1700°C (dim llwyth) a gwrthwynebiad erydiad plasma eithriadol, mae'r ciwc hwn yn ddelfrydol ar gyfer prosesu waffer tymheredd uchel (anelio, RTP) a siambrau ysgythru ymosodol lle mae ciwciau alwmina yn diraddio.
-
Rhannau Sbâr Ceramig Offer Lled-ddargludyddion Cludwyr Ceramig
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Cylch Malu Ceramig Alwmina â Chefnogaeth Fetel ar gyfer Cymwysiadau Lapio Anhyblygedd Uchel
Mae cylch malu alwmina wedi'i seilio ar fetel St.Cera yn cyfuno haen wisgo ceramig alwmina purdeb uchel (99.8% Al₂O₃) â chefnogaeth fetel wedi'i pheiriannu'n fanwl gywir (alwminiwm neu ddur di-staen fel arfer). Mae'r dyluniad hybrid hwn yn darparu'r ymwrthedd gwisgo eithriadol a'r anadweithioldeb cemegol sydd gan serameg ar yr wyneb malu, tra bod y sylfaen fetel yn ychwanegu cryfder mecanyddol, gosod hawdd, a gwrthwynebiad i doriad brau. Mae'r haen alwmina yn cynnig cryfder plygu o 361 MPa, caledwch Vickers o 16 GPa, a sefydlogrwydd thermol hyd at 800°C. Mae'r sylfaen fetel wedi'i haddasu gyda thyllau mowntio, pinnau lleoli, neu briodweddau magnetig ar gyfer integreiddio i beiriannau lapio, melinau planedol, ac offer CMP.
-
Rhannau Sbâr Ceramig ar gyfer Offer Gorsaf Profi Lled-ddargludyddion
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Prosesu wedi'i Addasu o Chuck Wafer Ceramig Al2O3
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Plât Ceramig Offer Lled-ddargludyddion wedi'i Addasu ST.CERA
Wedi'u ffurfio trwy wasgu isostatig oer a'u sinteru o dan dymheredd uchel, yna'u peiriannu a'u sgleinio'n fanwl gywir, gall y rhannau sbâr ceramig fodloni unrhyw ofynion llym ar gyfer offer lled-ddargludyddion gyda'i nodweddion ymwrthedd i wisgo, ymwrthedd i gyrydiad, ehangu thermol isel, ac inswleiddio. Gall cerameg weithio mewn sawl math o offer cynhyrchu lled-ddargludyddion gydag amodau tymheredd uchel, gwactod neu nwy cyrydol am amser hir.
Wedi'i wneud o bowdr alwmina purdeb uchel, wedi'i brosesu trwy wasgu isostatig oer, sinteru tymheredd uchel a gorffeniad manwl gywir, gallai gyrraedd y goddefgarwch dimensiwn i ±0.001 mm, gorffeniad wyneb Ra 0.1, ymwrthedd tymheredd 1600 ℃.
-
Chuck Gwactod Alwmina 12-Modfedd ar gyfer Prosesu Wafer 300mm
Mae ciwc gwactod 12 modfedd St.Cera wedi'i beiriannu'n fanwl gywir o alwmina purdeb uchel 99.8% (Al₂O₃) ar gyfer trin wafferi 300mm. Mae gan y ciwc arwyneb â rhigolau mân (lled y rhigol 0.5–1.0 mm, traw 2–3 mm) i sicrhau dosbarthiad gwactod unffurf ar draws y diamedr 300mm cyfan. Cynhelir gwastadrwydd o fewn 5 μm, gan alluogi gosod wafferi heb ystofio wrth ddisio, malu cefn ac archwilio. Mae cryfder plygu uchel y deunydd (361 MPa) a'i galedwch (16 GPa) yn gwarantu sefydlogrwydd dimensiynol hirdymor hyd yn oed o dan gylchoedd gwactod dro ar ôl tro.
-
Effeithydd Terfynol Ceramig Alwmina gyda Sianeli Gwactod Integredig
Mae effeithydd pen gwactod alwmina St.Cera yn integreiddio sianeli gwactod wedi'u peiriannu'n fanwl gywir a thyllau sugno yn uniongyrchol i'r corff alwmina purdeb uchel 99.8%. Mae'r dyluniad hwn yn dileu padiau gwactod allanol, gan alluogi codi waffer yn uniongyrchol gyda grym dal unffurf. Mae cryfder plygu uchel y deunydd (361 MPa) a'i galedwch (16 GPa) yn sicrhau sefydlogrwydd dimensiynol hirdymor o dan gylchoedd gwactod dro ar ôl tro. Cynhelir gwastadrwydd ar draws ardal y pad o fewn 10 μm, gan atal straen a thorri waffer. Mae porthladdoedd gwactod wedi'u lleoli yn y fflans mowntio cefn ar gyfer integreiddio hawdd â breichiau robot OEM.
-
Rhannau Ceramig Alwmina Diogel o ran ESD ar gyfer Trin Wafers Sensitif i Statig
Mae rhannau ceramig alwmina diogel ESD (rhyddhau electrostatig) St.Cera wedi'u cynhyrchu o 99.8% o Al₂O₃ purdeb uchel gyda gwrthiant arwyneb wedi'i deilwra o 10⁶–10⁹ Ω/sg, a gyflawnir trwy broses dopio neu orchuddio perchnogol. Mae'r rhannau hyn yn gwasgaru gwefr statig yn effeithiol, gan atal difrod electrostatig i wafferi a dyfeisiau lled-ddargludyddion sensitif. Mae'r deunydd sylfaen yn cadw ei gryfder plygu uchel (361 MPa), ei galedwch (16 GPa), a'i gryfder dielectrig (15×10⁶ V/m). Mae rhannau ceramig diogel ESD yn cynnwys effeithyddion diwedd, pinnau codi, rheiliau canllaw, a gosodiadau wedi'u teilwra ar gyfer awtomeiddio FAB.
