Rhannau Ceramig Alwmina Diogel o ran ESD ar gyfer Trin Wafers Sensitif i Statig
Mae rhannau ceramig alwmina diogel ESD (rhyddhau electrostatig) St.Cera wedi'u cynhyrchu o 99.8% o Al₂O₃ purdeb uchel gyda gwrthiant arwyneb wedi'i deilwra o 10⁶–10⁹ Ω/sg, a gyflawnir trwy broses dopio neu orchuddio perchnogol. Mae'r rhannau hyn yn gwasgaru gwefr statig yn effeithiol, gan atal difrod electrostatig i wafferi a dyfeisiau lled-ddargludyddion sensitif. Mae'r deunydd sylfaen yn cadw ei gryfder plygu uchel (361 MPa), ei galedwch (16 GPa), a'i gryfder dielectrig (15×10⁶ V/m). Mae rhannau ceramig diogel ESD yn cynnwys effeithyddion diwedd, pinnau codi, rheiliau canllaw, a gosodiadau wedi'u teilwra ar gyfer awtomeiddio FAB.
Manylebau(yn seiliedig ar 99.8% Al₂O₃ gyda thriniaeth ESD):
| Eiddo | Gwerth |
| Deunydd Sylfaen | 99.8% Alwmina |
| Gwrthiant Arwyneb (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sg |
| Dwysedd | 3.93 g/cm³ |
| Cryfder Plygu | 361 MPa |
| Caledwch Vickers | 16 GPa |
| Modiwlws Young | 380 GPa |
| Ehangu Thermol (25-1000°C) | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| Tymheredd Gweithredu Uchaf | 800°C |
| Cryfder Dielectrig (swmp) | 15×10⁶ V/m |
Nodyn: Nid yw gwrthiant arwyneb ESD wedi'i ddarparu yn y tablau priodweddau deunydd a gyflenwir. Yr ystod uchod yw safon y diwydiant ar gyfer cerameg afradlon. Cysylltwch â ni am adroddiadau prawf.
Ceisiadau:
● Effeithyddion diwedd diogel rhag ESD ar gyfer trosglwyddo wafer
● Pinnau daearu a gosodiadau ESD mewn offer FAB
● Socedi profi ar gyfer dyfeisiau sy'n sensitif i statig
● Offer ystafell lân lle mae rheolaeth statig yn hanfodol
Gweithgynhyrchu ac Ansawdd:
Prosesu alwmina safonol + triniaeth arwyneb ESD → gwrthiant arwyneb wedi'i fesur yn unol ag ANSI/ESD STM11.11. Mae pob rhan wedi'i phrofi 100% gydag electrod cylch consentrig.
Manteision:
● Yn atal colli cynnyrch sy'n gysylltiedig ag ESD
● Yn cynnal cryfder mecanyddol a gwrthiant cemegol cerameg
● Dim cynhyrchu gronynnau o ganlyniad i ryddhau statig
