Cylch Selio Ceramig Alwmina Purdeb Uchel ar gyfer Selio Siambr Tymheredd Uchel

Mae cylch selio ceramig St.Cera wedi'i gynllunio fel dewis arall yn lle cylchoedd-O polymer mewn amgylcheddau eithafol lle mae elastomerau'n diraddio. Wedi'i gynhyrchu o 99.8% o alwmina purdeb uchel (Al₂O₃), defnyddir y cylch selio anhyblyg hwn mewn cymwysiadau selio statig - fel arfer wedi'i baru â gasged metel meddal neu graffit - i ddarparu gwactod neu nwy dibynadwy ar dymheredd hyd at 800°C ac mewn amgylcheddau plasma neu gemegol ymosodol. Mae'r deunydd yn cynnig dim all-nwyo, cryfder cywasgol uchel (cryfder plygu sylfaenol 361 MPa), ac anadweithioldeb cemegol (sy'n gwrthsefyll halogenau, asidau ac alcalïau ac eithrio HF). Mae arwynebau selio wedi'u lapio'n fanwl gywir (gwastadrwydd ≤5 μm, garwedd arwyneb Ra ≤0.2 μm) yn sicrhau cyswllt sy'n dal gollyngiadau â chydrannau metel neu seramig sy'n paru.

Manylebau(yn seiliedig ar 99.8% Al₂O₃):

Ceisiadau:

• · Seliau statig siambr proses lled-ddargludyddion (CVD, PVD, etch)
• · Seliau drws ffwrnais tymheredd uchel
• · Fflansau porthiant gwactod
• · Cau llestri adweithydd cemegol

Proses Gweithgynhyrchu:

Gwasgu isostatig → sinteru ar 1600°C → lapio dwy ochr manwl gywir i gyflawni wynebau selio hynod wastad, llyfn → siamffrio ymyl → glanhau uwchsonig. Mae pob cylch wedi'i brofi am ollyngiadau 100% ar synhwyrydd gollyngiadau heliwm gyda gasged metel safonol.

Rheoli Ansawdd:

• · Gwiriad dimensiynol CMM (ID, OD, trwch, paralelrwydd)
• · Proffilomedr arwyneb ar gyfer Ra a thonedd
• · Mesur gwastadrwydd gan ddefnyddio gwastadrwydd optegol
• · Prawf gollyngiad heliwm (dull pwysedd cefn)

Manteision dros O-gylchoedd Polymer:

• · Yn gwrthsefyll 800°C yn erbyn <300°C ar gyfer FFKM
• · Dim all-nwyo — dim halogiad o'r amgylchedd gwactod
• · Yn gwrthsefyll pob cemeg plasma (fflworin, clorin, ocsigen)
• · Dim set cywasgu na dadffurfiad parhaol
• · Bywyd gwasanaeth diderfyn mewn amgylcheddau glân

Cyfyngiadau (Sylwadau Beirniadol):

• · Nid O-ring— mae'n fodrwy seramig anhyblyg sydd angen gasged meddal (copr, alwminiwm, neu graffit) i'w selio.
• · Nid yw'n darparu ar gyfer symudiad deinamig na chamliniad fflans mawr.
• · Cost gychwynnol uwch na modrwyau-O polymer, ond mae oes hirach yn lleihau cost perchnogaeth.
• · Brau — trin yn ofalus; osgoi effaith pwynt neu straen plygu.

Nodyn:Mae'r data uchod yn dilyn y tabl priodweddau Al₂O₃ a gyflenwyd yn llym. Ni ddarparwyd unrhyw ddata ar gyfer deunyddiau elastomerig. Mae'r cynnyrch hwn yn fodrwy sêl statig, nid yn O-fodrwy elastomerig. Cadarnhewch a yw hyn yn bodloni gofynion eich cymhwysiad.