Effeithydd Terfyn Ceramig Silicon Carbid (SiC) – Anystwythder Uchel ar gyfer Trin Wafer Tymheredd Uchel
Mae effeithydd terfyn ceramig SiC St.Cera wedi'i gynhyrchu o silicon carbid purdeb uchel (cynnwys SiC 99.72%, Si rhydd 0.05%) gan ddefnyddio'r deunydd swp S1111. Mae'n cynnig priodweddau mecanyddol eithriadol: cryfder plygu 449 MPa (wedi'i fesur), modwlws elastigedd 457 GPa (wedi'i fesur), a chaledwch Vickers 25–28 GPa (nodweddiadol). Mae'r dwysedd isel (3.10–3.15 g/cm³, nodweddiadol) yn darparu anystwythder penodol uchel, sy'n ddelfrydol ar gyfer robotiaid trosglwyddo waffer cyflym. Gyda dargludedd thermol o 120–150 W/m·K (nodweddiadol) a chyfernod ehangu thermol o 4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃ (nodweddiadol), mae'r effeithydd terfyn hwn yn gwasgaru gwres yn effeithiol ac yn cynnal sefydlogrwydd dimensiynol yn ystod trin tymheredd uchel (hyd at 1600–1700°C, dim llwyth). Mae'r lliw du/llwyd a'r amsugno dŵr sero yn sicrhau cydnawsedd ystafell lân.
Manylebau(yn seiliedig ar adroddiad prawf SiC S1111 a gyflenwyd a gwerthoedd nodweddiadol)):
| Eiddo | Gwerth |
| Deunydd | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si Rhydd) |
| Lliw | Du/Llwyd |
| Dwysedd | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Amsugno Dŵr | 0% |
| Cryfder Plygu | 449 MPa (cyfartaledd) |
| Caledwch Toriad | 3.12 MPa·m¹/² (cyfartaledd) |
| Modwlws Elastig | 457 GPa |
| Caledwch Vickers | 25–28 GPa |
| Dargludedd Thermol (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Tymheredd Defnydd Uchaf (dim llwyth) | 1600–1700°C |
Ceisiadau:
● Trin wafferi tymheredd uchel (ar ôl anelio, RTP, epitacsi)
● Siambr ysgythru plasma sydd angen ymwrthedd uchel i erydiad
● Robotiaid trosglwyddo cyflym (pwysau ysgafn, anystwythder uchel)
Gweithgynhyrchu:
Sintro powdr SiC → malu proffil braich a nodweddion mowntio â CNC manwl gywir → lapio arwyneb → glanhau uwchsonig. Archwiliad dimensiynol 100% a phrawf gollyngiad heliwm ar gyfer cymwysiadau gwactod.
Rheoli Ansawdd:
● Archwiliad CMM o hyd, lled a gwastadrwydd
● Prawf cryfder plygu fesul swp (fesul safon adroddiad prawf)
● Archwiliad gweledol o dan ficrosgop am ddiffygion arwyneb
Manteision dros Alwmina neu Fetel:
● Modiwlws elastigedd 2× uwch (457 vs ~380 GPa ar gyfer alwmina) – llai o wyriad
● Dargludedd thermol 3× yn uwch – gwasgariad gwres cyflymach
● Yn gwrthsefyll >1600°C o'i gymharu ag 800°C alwmina mewn aer
● Dwysedd is na dur – gostyngiad pwysau o 40%
Addasu:
Hydoedd 150–450 mm, siapiau'r domen (gafael ymyl, Bernoulli, gwastad), patrymau fflans mowntio yn unol â llun yr OEM.
*Daw'r holl ddata mecanyddol uchod o'r adroddiad prawf a gyflenwyd (swp S1111). Mae gwerthoedd thermol a chaledwch yn nodweddiadol ar gyfer y radd SiC hon; cysylltwch â ni am ardystiad penodol i'r swp.*
