Effeithydd Terfyn Ceramig Alwmina Purdeb Uchel ar gyfer Robotiaid Trin Wafer

Mae effeithydd pen ceramig alwmina St.Cera wedi'i beiriannu'n fanwl gywir o 99.8% o Al₂O₃ purdeb uchel gan ddefnyddio offer malu CNC 5-echel uwch. Mae ein galluoedd gweithgynhyrchu yn cynnwys peiriannau malu manwl gywir a chanolfannau peiriannu CNC, gan alluogi geometregau cymhleth gyda manylder uchel. Mae gan yr effeithydd pen broffil tenau (mor denau â 1.5 mm) gydag ymyl flaenllaw taprog ar gyfer mewnosod wafer yn llyfn. Mae'r deunydd yn darparu anystwythder uchel (modiwlws Young 380 GPa), ymwrthedd gwisgo rhagorol, a sefydlogrwydd thermol hyd at 800°C. Mae pob uned wedi'i malu'n fanwl gywir i gyflawni gwastadrwydd o 0.003mm, paralelrwydd o 0.002mm, a gorffeniad wyneb o Ra0.1, gan sicrhau cyswllt wafer cyson a gweithrediad di-ronynnau mewn amgylcheddau FAB lled-ddargludyddion. Ar gael mewn hydoedd o 150 mm i 450 mm, gyda geometregau blaen personol (gafael ymyl, Bernoulli, gwastad) a fflansau mowntio i ffitio robotiaid OEM. Mae'r opsiynau gorffeniad wyneb yn cynnwys haenen wedi'i lapio, ei sgleinio, neu ei haenen afradlonol ESD (10⁶–10⁹ Ω/sg).

Manylebau (yn seiliedig ar 99.8% Al₂O₃a galluoedd gweithgynhyrchu St.Cera):

Ceisiadau:

• · Trosglwyddo wafer mewn robotiaid gwactod ac atmosfferig
• · Effeithyddion diwedd awtomeiddio FAB ar gyfer wafferi 200mm/300mm
• · Trin wafferi tenau (gyda'r opsiwn ESD)

Galluoedd Gweithgynhyrchu:
Mae ein peiriannau malu manwl gywir a'n canolfannau peiriannu CNC yn galluogi cynhyrchu cydrannau ceramig cymhleth gyda:

• · Hyd peiriannu mwyaf: 1500mm
• · Diamedr allanol mwyaf: 600mm
• · Diamedr mewnol lleiaf: 0.2mm
• · Trwch mwyaf: 100mm

Rheoli Ansawdd:
Sythder 0.005mm, perpendicwlaredd 0.005mm, crwnder 0.002mm, paraleledd 0.002mm, crynodedd 0.01mm wedi'i wirio gan CMM. Mae pob uned yn cael ei glanhau'n uwchsonig ac wedi'i phecynnu ystafell lân Dosbarth 100.