Siwc Gwactod Mandyllog SiC â Chefn Metel ar gyfer Trin Wafers Ystumiedig a Thenau

Mae ciwc gwactod ceramig wedi'i seilio ar fetel St.Cera yn cyfuno haen ceramig silicon carbid mandyllog (SiC) â sylfaen fetel wedi'i pheiriannu'n fanwl gywir (alwminiwm neu ddur di-staen). Mae'r deunydd SiC mandyllog (glas-ddu, mandylledd 35–40%, maint mandwll 20–30 μm, athreiddedd 60 ml/cm²·mun) yn darparu dosbarthiad gwactod unffurf, ysgafn ar draws wyneb cyfan y wafer, gan ddileu marcio ymyl a galluogi cefnogaeth ddi-gyswllt ar gyfer waferi tenau (≤100 μm) neu ystumiedig. Mae'r haen SiC yn cynnig ehangu thermol isel (3.5 × 10⁻⁶/℃), sefydlogrwydd thermol hyd at 1000°C, a chryfder plygu cymedrol (32–35 MPa). Mae'r sylfaen fetel yn ychwanegu anhyblygedd strwythurol, mowntio hawdd trwy dyllau edau, ac amddiffyniad rhag torri brau. Mae'r ciwc hwn yn ddelfrydol ar gyfer malu cefn, disio, a phrosesu waferi tymheredd uchel lle mae cydnawsedd gwactod a thermol unffurf yn hanfodol.

Manylebau (yn seiliedig ar ddata SiC mandyllog a gyflenwyd):

Nodyn: Mae cryfder plygu yn is na SiC dwys oherwydd mandylledd. Nid yw priodweddau sylfaen metel o fyrddau ceramig.

Ceisiadau:

• · Malu cefn wafers tenau (≤100 μm)
• · Mowntio wafer ystumiedig ar gyfer disio
• · Taflu wafer tymheredd uchel (hyd at 1000°C)
• · Gosod gwactod ar gyfer swbstradau mandyllog neu fregus

Gweithgynhyrchu:

Plât SiC mandyllog (wedi'i ffurfio gyda ffurfwyr mandyllau, wedi'i sinteru) → wedi'i lapio i wastadedd ≤10 μm → sylfaen fetel wedi'i pheiriannu gyda phyrth gwactod a nodweddion mowntio → bondio epocsi neu glampio mecanyddol → prawf gollyngiad heliwm.

Rheoli Ansawdd:

• · Mandylledd a maint y mandwll wedi'u gwirio gan SEM
• · Prawf athreiddedd (llif aer)
• · Gwastadrwydd wedi'i fesur gydag interferomedr laser
• · Cyfradd gollyngiad heliwm <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

Manteision dros Chucks Ceramig Rhigol neu Ddwys:

• · Dim marcio wafer – gwactod unffurf heb dyllau arwahanol
• · Mandyllau hunan-lanhau – llai o glocsio
• · Yn trin wafferi ystumiedig (bwa hyd at 500 μm)
• · Mae sylfaen fetel yn atal toriad brau ac yn symleiddio integreiddio

Cyfyngiadau:

• · Cryfder plygu is (32–35 MPa) – osgoi llwytho effaith
• · Mae tymheredd gweithredu wedi'i gyfyngu i 1000°C (SiC mandyllog), ond mae bond epocsi sylfaen fetel yn cyfyngu i ≤200°C oni bai ei fod wedi'i glampio'n fecanyddol
• · Nid ar gyfer gwactod pwysedd uchel (mae strwythur mandyllog yn cyfyngu ar y gwahaniaeth gwactod mwyaf)

Addasu:

• · Sylfaen fetel: alwminiwm (ysgafn), dur di-staen (gwrthsefyll cyrydiad), Invar (ehangu isel)
• · Bondio: epocsi (≤200°C) neu glamp mecanyddol (hyd at 500°C)
• · Cylch selio ymyl ar gyfer rheoli gwactod parth

Noder: Mae'r cryfder plygu a gyflenwir (32–35 MPa) yn sylweddol is na cherameg dwys oherwydd mandylledd. Trin yn ofalus i osgoi naddu'r ymylon.