-
Braich Robot Ceramig Alwmina Purdeb Uchel ar gyfer Trin Wafer
Mae braich robot seramig alwmina St.Cera wedi'i pheiriannu'n fanwl gywir o 99.8% o Al₂O₃ (alwmina) purdeb uchel. Mae'n cyfuno cryfder plygu eithriadol (361 MPa), caledwch uchel (16 GPa), a dwysedd isel (3.93 g/cm³), gan arwain at fraich ysgafn ond anhyblyg ar gyfer trosglwyddo waffer lled-ddargludyddion. Mae cyfernod ehangu thermol y deunydd (7.2 × 10⁻⁶/°C) yn cyd-fynd yn agos â silicon, gan leihau'r anghydweddiad thermol yn ystod y prosesu.
-
Effeithydd Pen Ceramig Bernoulli — Trin Wafers Di-gyswllt ar gyfer Wafers Tenau a Bregus
Mae effeithydd pen ceramig Bernoulli St.Cera yn defnyddio lifft aerodynamig i drin wafferi heb gyswllt corfforol. Wedi'i gynhyrchu o alwmina 99.8% purdeb uchel (Al₂O₃) neu silicon carbid (SiC), mae'n cynnwys ffroenellau wedi'u peiriannu'n fanwl gywir sy'n alldaflu nwy dan bwysau i greu ffilm aer denau rhwng yr effeithydd pen a'r waffer. Mae'r egwyddor ddi-gyswllt hon yn dileu halogiad cefn, naddu ymylon, a difrod i'r wyneb, gan ei wneud yn ddelfrydol ar gyfer wafferi tenau (≤100 μm), bregus, neu ystumiedig. Mae'r swbstrad ceramig yn darparu cryfder plygu uchel (361 MPa ar gyfer Al₂O₃; hyd at 550–600 MPa ar gyfer SiC), màs isel, a sefydlogrwydd dimensiwn rhagorol, gan sicrhau lleoli ailadroddadwy mewn robotiaid trosglwyddo wafferi cyflym.
-
Effeithydd Terfynol Ceramig wedi'i Gorchuddio â Theflon – Arwyneb Di-lynu ar gyfer Trin Waferau Sensitif
Mae effeithydd terfyn ceramig wedi'i orchuddio â Teflon (PTFE) St.Cera yn cyfuno swbstrad alwmina cryfder uchel â gorchudd PTFE unffurf, ffrithiant isel (trwch 15–30 μm). Mae'r gorchudd yn darparu cyfernod ffrithiant hynod o isel (≤0.1), ymwrthedd cemegol rhagorol, a phriodweddau nad ydynt yn glynu, gan atal adlyniad wafferi a dileu halogiad ochr gefn. Mae'r swbstrad ceramig sylfaenol (99.8% Al₂O₃) yn cynnig cryfder plygu uchel (361–1000 MPa), ymwrthedd i wisgo, a sefydlogrwydd thermol hyd at 260°C (terfyn cotio). Mae'r effeithydd terfyn hwn yn ddelfrydol ar gyfer trin wafferi cain, tenau, neu ludiog (e.e., ar ôl cotio ffotoresist neu brosesau cemegol).
