Braich Robot Ceramig Alwmina Purdeb Uchel ar gyfer Trin Wafer
Mae braich robot seramig alwmina St.Cera wedi'i pheiriannu'n fanwl gywir o 99.8% o Al₂O₃ (alwmina) purdeb uchel. Mae'n cyfuno cryfder plygu eithriadol (361 MPa), caledwch uchel (16 GPa), a dwysedd isel (3.93 g/cm³), gan arwain at fraich ysgafn ond anhyblyg ar gyfer trosglwyddo waffer lled-ddargludyddion. Mae cyfernod ehangu thermol y deunydd (7.2 × 10⁻⁶/°C) yn cyd-fynd yn agos â silicon, gan leihau'r anghydweddiad thermol yn ystod y prosesu.
Manylebau (yn seiliedig ar 99.8% Al₂O₃):
| Eiddo | Gwerth |
| Lliw | Ifori |
| Dwysedd | 3.93 g/cm³ |
| Cryfder Plygu | 361 MPa |
| Caledwch Vickers | 16 GPa |
| Modiwlws Young | 380 GPa |
| Dargludedd Thermol | 32 W/m·k |
| Ehangu Thermol | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| Cryfder Dielectrig | 15×10⁶ V/m |
Ceisiadau:
- Robotiaid trosglwyddo wafer gwactod (200mm/300mm)
- Systemau trin atmosfferig
- Breichiau effeithydd terfynol ar gyfer awtomeiddio FAB
Proses Gweithgynhyrchu:
Gwasgu isostatig → peiriannu gwyrdd → sintro ar 1600°C → malu manwl gywirdeb CNC → glanhau uwchsonig → pecynnu ystafell lân Dosbarth 100. Mae pob braich yn cael ei harchwilio 100% gan CMM am wastadrwydd (±0.01 mm) a garwedd arwyneb (Ra ≤0.4 μm).
Rheoli Ansawdd:
Mae St.Cera wedi'i ardystio yn ôl ISO 9001:2015. Rydym yn cynnal profion treiddiad llifyn ar gyfer micro-graciau, plygu tair pwynt ar gyfer cryfder plygu, a phrawf cryfder dielectrig yn unol ag ASTM D149.
Manteision dros Freichiau Metel:
- 50% yn ysgafnach na dur di-staen
- Dim cyrydiad galfanig
- Cynhyrchu gronynnau is (≤0.05 gronyn/cm²)
- Gorchudd diogel rhag ESD ar gael (10⁶–10⁹ Ω/sg)
Addasu:
Hydoedd o 150mm i 450mm, siapiau'r domen (gafael ymyl, Bernoulli, gwactod), a phatrymau fflans mowntio yn ôl lluniadau'r OEM. Prototeipiau mewn 2 wythnos.
Ar gyfer archebion swmp, gofynnwch am ddyfynbris.
