Ynghyd â manteision perfformiad cynhwysfawr deunyddiau swbstrad traddodiadol Al2O3 a BeO, mae cerameg Alwminiwm Nitrid (AlN), sydd â dargludedd thermol uchel (dargludedd thermol damcaniaethol monocrisial yw 275W/m▪k, dargludedd thermol damcaniaethol polycrisial yw 70 ~ 210W/m▪k), cysonyn dielectrig isel, cyfernod ehangu thermol sy'n cyfateb i silicon grisial sengl, a phriodweddau inswleiddio trydanol da, yn ddeunydd delfrydol ar gyfer swbstradau cylched a phecynnu yn y diwydiant microelectroneg. Mae hefyd yn ddeunydd pwysig ar gyfer cydrannau cerameg strwythurol tymheredd uchel oherwydd y priodweddau mecanyddol tymheredd uchel da, priodweddau thermol a sefydlogrwydd cemegol.
Dwysedd damcaniaethol AlN yw 3.26g/cm3, caledwch MOHS yw 7-8, mae gwrthiant tymheredd ystafell yn fwy na 1016Ωm, ac mae'r ehangder thermol yn 3.5 × 10-6/℃ (tymheredd ystafell o 200℃). Mae cerameg AlN pur yn ddi-liw ac yn dryloyw, ond byddent o wahanol liwiau fel llwyd, gwyn llwydaidd neu felyn golau, oherwydd yr amhureddau.
Yn ogystal â dargludedd thermol uchel, mae gan serameg AlN y manteision canlynol hefyd:
1. Inswleiddio trydanol da;
2. Cyfernod ehangu thermol tebyg â silicon monocrisial, yn well na deunyddiau fel Al2O3 a BeO;
3. Cryfder mecanyddol uchel a chryfder plygu tebyg gyda serameg Al2O3;
4. Cysonyn dielectrig cymedrol a cholled dielectrig;
5. O'i gymharu â BeO, mae dargludedd thermol cerameg AlN yn cael ei effeithio llai gan dymheredd, yn enwedig uwchlaw 200 ℃;
6. Gwrthiant tymheredd uchel a gwrthiant cyrydiad;
7. Diwenwyn;
8. Gellir ei gymhwyso i'r diwydiant lled-ddargludyddion, y diwydiant meteleg cemegol a meysydd diwydiannol eraill.
Amser postio: Gorff-14-2023