Wedi'i gyfuno â manteision perfformiad cynhwysfawr deunyddiau swbstrad Al2O3 a BeO traddodiadol, cerameg Alwminiwm Nitride (AlN), sydd â dargludedd thermol uchel (dargludedd thermol damcaniaethol monocrystal yw 275W / m▪k, dargludedd thermol damcaniaethol polycrystal yw 70 ~ 210W / m▪k ), cyson dielectrig isel, cyfernod ehangu thermol sy'n cyd-fynd â silicon grisial sengl, ac eiddo inswleiddio trydanol da, yn ddeunydd delfrydol ar gyfer swbstradau cylched a phecynnu yn y diwydiant microelectroneg.Mae hefyd yn ddeunydd pwysig ar gyfer cydrannau ceramig strwythurol tymheredd uchel oherwydd y priodweddau mecanyddol tymheredd uchel da, priodweddau thermol a sefydlogrwydd cemegol.
Dwysedd damcaniaethol AlN yw 3.26g / cm3, caledwch MOHS yw 7-8, mae'r gwrthedd tymheredd ystafell yn fwy na 1016Ωm, ac mae'r ehangder thermol yn 3.5 × 10-6 / ℃ (tymheredd ystafell o 200 ℃).Mae cerameg AlN pur yn ddi-liw ac yn dryloyw, ond byddent yn lliwiau amrywiol fel llwyd, gwyn llwyd neu felyn golau, oherwydd yr amhureddau.
Yn ogystal â dargludedd thermol uchel, mae gan serameg AlN y manteision canlynol hefyd:
1. Inswleiddiad trydanol da;
2. Cyfernod ehangu thermol tebyg gyda monocrystal silicon, sy'n well na deunyddiau fel Al2O3 a BeO;
3. cryfder mecanyddol uchel a chryfder flexural tebyg gyda serameg Al2O3;
4. Cymedrol dielectric cyson a colled dielectric;
5. O'i gymharu â BeO, mae tymheredd yn effeithio llai ar ddargludedd thermol cerameg AlN, yn enwedig uwchlaw 200 ℃;
6. ymwrthedd tymheredd uchel a gwrthsefyll cyrydiad;
7. Heb fod yn wenwynig;
8. Cael ei gymhwyso i ddiwydiant lled-ddargludyddion, diwydiant meteleg cemegol a meysydd diwydiannol eraill.
Amser post: Gorff-14-2023